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    标准型超声波扫描显微镜

    超声波扫描显微镜SAT

    超声波扫描显微镜IGBT

    标准型超声波扫描显微镜
    应用范围

    IGBT、SiC模组分层检测

    半导体芯片封装分层

    6、8、12寸晶圆（包括晶圆键合）检测

    金刚石测厚及内部缺陷检测

    水冷散热板焊接缺陷检测

    设备优势

    无需破坏样品，可高效重复检测

    扫描速度快，检测精度高

    多达1000层的分层扫描

    实时检测图像显示与分析软件

    可根据产品定制防水治具

    可选配单探头、双探头

    支持C+T方式同时扫描

    主要参数
    整机尺寸
    995mm×970mm×1500mm
    三轴有效行程
    400mm x 320mm x 100mm
    最大扫描速度
    1200mm/s
    图像推荐分辨率
    1~4000μm/pixel
    超声发射接收带宽
    5-300MHz（可选配5-500MHz）
    上下水系统
    水压进水，重力排水，可选配水泵排水
    密封夹具
    可根据客户产品规格定制
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